空氣過濾器技術(shù)資料

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AMC去除

對微電子制造業(yè)來說，空氣中危害生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品并因此引起成品率降低的化學物質(zhì)，稱為“分子級污染物”（或氣載分子污染物），英文簡稱“AMC”。分子污染物的尺寸比粒子要小得多，相差幾個數(shù)量級，高效過濾器HEPA或者超高效過濾器ULPA根本無法去除AMC。

多年的理論和實踐證明，化學過濾是低濃度氣體污染物*為經(jīng)濟有效的去除方法，幾乎可以去除所有的氣體污染物，在工業(yè)排風、溶劑回收等高濃度場合也在大量使用，是一項安全、可靠、成熟的技術(shù)。

什么是AMC

危害生產(chǎn)工藝并因此導(dǎo)致成品率降低的空氣中的分子態(tài)化學物質(zhì)，稱為“分子級污染物”（或氣載分子污染物），英文簡稱“AMC”。 AMC包括空氣中的多種有害氣體和金屬離子。國際半導(dǎo)體技術(shù)與材料協(xié)會（SEMI）根據(jù)AMC的化學性質(zhì)以及對生產(chǎn)工藝的危害，對其分為四類：酸性(MA)﹑ 堿性(MB), 可凝性(MC)和摻雜性(MD)。（1）酸性AMC ：能夠接受電子（受主）的化學腐蝕性氣相物質(zhì)。如氟化氫（HF），二氧化硫（SO2）等。（2）堿性AMC：能夠施于電子（施主）的化學腐蝕性氣相物質(zhì)。如氨氣（NH3），六甲基二硅醚（HMDSO）等。（3）可凝性AMC：常溫常壓下，能夠在干凈表面（如硅片）凝結(jié)的氣相物質(zhì)。如硅烷，二丁基甲酚（BHT）,大分子碳氫化合物等。（4）摻雜性AMC：能夠改變半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性的化學物質(zhì)。如硼（B）,磷(P)等。HEPA高效過濾器和ULPA超高效過濾器

HEPA 是英語high efficiency particle air filter的縮寫形式，ULPA是英語 ultra low penetration air filter的縮寫形式。

根據(jù)EN1822 分級，HEPA分為五個等級，即H10﹑H11﹑H12﹑H13和H14；ULPA分為三個等級，即U15﹑H16和H17。HEPA和ULPA過濾器是潔凈室的心臟，所以要保證潔凈室的潔凈度，要對過濾器進行逐臺掃描檢測，下表是不同等級過濾器對效率的*低要求。例如H13對MPPS的*低效率為99.95%，一般記作：效率 99.95% at MPPS, 這與“效率 99.95% at 0.12 ”或“效率 99.95% at 0.3 ”完全不同，因為0.12 或0.3 不一定是該過濾器的*易穿透粒徑，對于HEPA 派克濾芯和ULPA超高效過濾器，一定要知道該過濾器的“*易穿透粒徑MPPS”是多少。

什么是MPPS

MPPS 是英文most penetrating particle size 的縮寫，是*易穿透粒徑的意思，即*低效率粒徑。換句話說，高效過濾器在某一粒徑處的效率存在*低點。

很多人會誤認為，灰塵粒子越小，越不容易去除，其實不然。過濾器去除粒子的機理，主要包括擴散﹑攔截﹑慣性和篩效應(yīng)。如圖所示，四種機理綜合效應(yīng)的結(jié)果對某一粒徑的粒子去除效率*低，這一粒徑通常在0.1-0.2 ,但是該粒徑究竟是0.11 ﹑0.13 ﹑0.15 還是其它數(shù)值，會因過濾材料或過濾器結(jié)構(gòu)而不同。因此對于高效過濾器HEPA或超高效過濾器ULPA而言，一定要供應(yīng)商告訴您MPPS效率是多少，這樣就可以保證過濾器對其它粒徑的效率肯定比MPPS效率高！

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